PLD装置
レーザで材料を飛ばし，基板上に磁石膜などを形成します。厚膜磁石と小型デバイスの研究につながる装置です。
EQUIPMENT
装置紹介
材料をつくり，測り，考える。ここでは，研究を支える装置などを紹介します。
FROM MATERIALS TO DEVICES
つくる，測る，考える
磁性材料開発では，つくる・測る・考えるを何度も行き来します。ここでは，研究室で用いている主な装置を研究の流れに沿ってまとめました。
01 / CREATE
つくる
磁石膜などの試料を作製します。
めっきシステム
めっき浴や電源などを組み合わせためっきシステムで磁性膜を作製します。
アークプラズマガン
アーク放電で材料を放出し，基板に膜を形成します。
02 / MEASURE
測る
磁化，磁束，B-H特性を試料に応じて評価します。
振動試料型磁力計（VSM）
磁界を変えながら磁化を測り，M-H曲線などから磁石の性質を調べます。
超電導式振動試料型磁力計
強い磁界をかけて磁化を測り，通常のVSMでは飽和しにくい試料を評価します。
パルスB-Hループトレーサ
短時間の強いパルス磁界で，磁化の履歴を評価します。
BHアナライザ
軟磁性体磁心や薄帯の高周波B-H曲線，透磁率，損失などを評価します。
BHループトレーサ
軟磁性材料の低周波での磁化特性を測ります。
ガウスメータ
磁石や電磁石の磁界・磁束密度を測ります。
03 / OBSERVE
調べる
表面の形状や元素組成を確かめます。
走査電子顕微鏡（SEM）
試料表面を拡大して観察し，作製した膜の表面形態を確認します。
エネルギー分散形X線分光器（EDX）
SEMと組み合わせ，観察した領域の元素組成を調べます。
表面粗さ計
膜や試料表面の粗さを測ります。
X線回折装置（XRD・大学共用設備）
X線回折で膜の結晶構造や相を調べます。
04 / PROCESS
考える
計算機解析を実験結果と照らし合わせ，磁性材料の振る舞いを考えます。
計算機解析マシン
磁気特性や材料の振る舞いを計算し，実験結果と照らし合わせます。
磁性材料から，次の可能性へ。
トップページへ戻る ↗